Van điều khiển chính xác với kiểm soát siêu tinh khiết cho hệ thống làm sạch linh kiện điện tử với tính năng chống ô nhiễm

Được thiết kế đặc biệt cho các hệ thống làm sạch linh kiện điện tử xử lý chất bán dẫn và bảng mạch, Van định lượng của chúng tôi đảm bảo kiểm soát chất lỏng làm sạch siêu tinh khiết đồng thời ngăn ngừa ô nhiễm. Van có khoang bên trong siêu tinh khiết với độ bóng Ra 0.05μm và lớp lót PFA để ngăn chặn sự rụng hạt (≤1 hạt/mL, ≥0.5μm) có thể làm hỏng các chất bán dẫn nhạy cảm.

Tương thích với nước DI (18.2MΩ*cm) và IPA, van sử dụng các vòng đệm perfluoroelastomer đáp ứng các tiêu chuẩn làm sạch điện tử SEMI F021. Với khả năng kiểm soát lưu lượng chính xác từ 0.1-10mL/phút và sai số ±0.1%, nó thích ứng hoàn hảo với các yêu cầu làm sạch vi linh kiện. Thiết kế chống ô nhiễm kết hợp dòng chảy khép kín để ngăn chặn sự tiếp xúc của không khí với chất lỏng làm sạch, duy trì mức độ tinh khiết tối ưu.

• Khoang siêu tinh khiết (Ra 0.05μm) với lớp lót PFA đảm bảo kiểm soát ô nhiễm ≤1 hạt/mL
• Vòng đệm perfluoroelastomer tương thích với nước DI/IPA đáp ứng các tiêu chuẩn SEMI F021
• Kiểm soát lưu lượng chính xác (0.1-10mL/phút, sai số ±0.1%) thích ứng với các linh kiện điện tử vi mô
• Thiết kế dòng chảy khép kín duy trì độ tinh khiết của chất lỏng làm sạch bằng cách tránh tiếp xúc với không khí
• Tương thích với máy làm sạch bằng sóng siêu âm cho các quy trình tự động